近日,某电子科技大学在我司订购的HMDS预处理真空烘箱已交付。HMDS预处理真空烘箱主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性,是晶圆处理过程中不可缺少的一部分。这些年来,我国半导体产业全面“开花”,正在不断的崛起,能为半导体行业添砖加瓦,我们倍感荣幸,希望早日摆脱国外对芯片的垄断。
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